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每一个螺丝的拧紧、每一条线路的对接,都容不得丝毫差错,玉龙全神贯注,不放过任何一个细节。
“注意光源系统与光学系统的光路校准,偏差不能超过0.05毫米,这会直接影响光刻的精度。”
悟空时刻关注着整合过程,及时提醒玉龙。
玉龙小心翼翼地操作着微调装置,通过精密的光学仪器,反复校准光路,确保光线能够准确无误地从光源传输到光学系统,最终聚焦在目标位置上。
经过一整天的紧张工作,光刻机的主体整合基本完成。
接下来,便是至关重要的全面测试环节。
玉龙开启了光刻机的电源,各个系统依次启动,发出轻微而稳定的运转声。
光源系统率先亮起,深紫外光准确地射向光学系统,机械运动系统也开始平稳地驱动工作台移动,光学系统则精确地聚焦光线。
然而,在测试过程中,他们发现光刻图案出现了微小的变形。
“悟空,这光刻图案变形可能是什么原因导致的?”
玉龙焦急地问道。
悟空迅速分析数据:“有可能是机械运动系统在高速移动时产生了微小的震动,影响了光学系统的聚焦精度。
我们需要检查导轨和丝杆的稳定性,以及传感器的反馈是否及时准确。”
玉龙立刻对机械运动系统进行全面检查。
他发现丝杆在高速运转时,由于摩擦力的作用,产生了极轻微的发热现象,这导致了丝杆的微小膨胀,进而影响了工作台的移动精度。
“我们可以在丝杆上添加一套高效的散热装置,降低丝杆的温度,减少热膨胀带来的影响。”
悟空提出了解决方案。
玉龙马上利用自动化操作台制造出散热装置,并迅速安装到丝杆上。
再次进行测试时,机械运动系统的稳定性得到了显着提升,光刻图案的变形问题得到了明显改善。
但他们并没有因此而满足,继续对光刻机进行长时间、高强度的测试。
经过连续数天的运行,光刻机在各项性能指标上都表现稳定,光刻精度达到了预期的标准。
“我们成功了,悟空!
这台光刻机终于制造出来了!”
玉龙激动地挥舞着拳头,眼中闪烁着喜悦的泪花。
“这是我们共同努力的成果,兄弟!
有了这台光刻机,清风寨在芯片制造领域就有了坚实的基础。”
悟空的声音中也充满了自豪。
在接下来的日子里,玉龙、悟空围绕着光刻机展开了芯片制造的研究。
他们不断尝试不同的工艺和材料,优化制造流程。
经过无数次的试验和失败,终于成功制造出了第一枚属于清风寨的芯片。
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